プラズマダメージ低減ECR-MBE法で作製したSi基板上InN薄膜の成長条件が及ぼす長波長域PL発光特性への影響
プラズマダメージ低減ECR-MBE法で作製したSi基板上InN薄膜の成長条件が及ぼす長波長域PL発光特性への影響
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等离子体损伤减少ECR-MBE法制备的Si衬底上InN薄膜生长条件对长波长范围PL发射特性的影响
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
原田義之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
淀徳男;原田義之
