Effects of UV-ozone treatment on radio-frequency magnetron sputtered ZnO thin films-猫眼课题宝

DOI：

10.1016/j.tsf.2011.07.004

发表时间：

2011-10

期刊：

Thin Solid Films

影响因子：

2.1

通讯作者：

中科院分区：

材料科学3区

文献类型：

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作者：

Wing-Man Tang;M. Greiner;Zhenghong Lu;W. Ng;H. Nam