F.Harashima 編: "Integrated MicroーMotion Systems,Micromachining,Control and Applications" Elsevier Science Publ., 462 (1990)
F.Harashima 編: "Integrated MicroーMotion Systems,Micromachining,Control and Applications" Elsevier Science Publ., 462 (1990)
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F. Harashima 编辑：“集成微运动系统、微机械加工、控制和应用”Elsevier Science Publ.，462 (1990)
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