Electrical properties of amorphous and epitaxial Si-rich silicide films
Electrical properties of amorphous and epitaxial Si-rich silicide films
复制标题
非晶和外延富硅硅化物薄膜的电学特性
DOI：
10.1063/1.4913859
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发表时间：
2015
影响因子：
3.2
通讯作者：
T. Kanayama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Okada;N. Uchida;T. Kanayama
