Local Deposition of Carbon Containing SiOx Synthesized Using Atmospheric Pressure Microplasma Jet
Local Deposition of Carbon Containing SiOx Synthesized Using Atmospheric Pressure Microplasma Jet
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使用大气压微等离子体射流合成的含碳 SiOx 的局部沉积
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Shirai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Q. Pan;Y. Ding;H. Shirai
