S.Inoue: "Deposition of TiC films by dual source dc maguetron sputtering"Vacuum. (掲載決定). (2000)
S.Inoue: "Deposition of TiC films by dual source dc maguetron sputtering"Vacuum. (掲載決定). (2000)
复制标题
S.Inoue：“通过双源直流磁控管溅射沉积 TiC 薄膜”（2000 年出版）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
