H.Sugai: "Electron Energy Distributions and Plasma-Aided Materials Processing"Journal of Plasma and Fusion Research. 77(7). 660-665 (2001)
H.Sugai: "Electron Energy Distributions and Plasma-Aided Materials Processing"Journal of Plasma and Fusion Research. 77(7). 660-665 (2001)
复制标题
H.Sugai:“电子能量分布和等离子体辅助材料加工”等离子体与聚变研究杂志。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: