Influences of the Exhaust Flows on Ekamn Spirals in Spin Coating
Influences of the Exhaust Flows on Ekamn Spirals in Spin Coating
复制标题
旋涂中排气流量对 Ekamn 螺旋的影响
DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Seiichi KIMURA
中科院分区:
文献类型:
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作者:
谷野忠和;仲尾晋一郎;上林源樹;Seiichi KIMURA;Seiichi KIMURA