High-density convergent plasma sputtering device for a liquid metal target using an unheated glass plate
High-density convergent plasma sputtering device for a liquid metal target using an unheated glass plate
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使用未加热玻璃板的液态金属靶材的高密度会聚等离子体溅射装置
DOI：
10.1063/1.5025093
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发表时间：
2018
影响因子：
1.6
通讯作者：
T. Motomura and T. Tabaru
中科院分区：
文献类型：
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作者：
西田智就;木下郁雄;石井純太郎;Ikuo Kinoshita;Ikuo Kinoshita;T. Motomura and T. Tabaru;T. Motomura and T. Tabaru
