Production of 1OGHz micro ECR plasma and its diagnosis
Production of 1OGHz micro ECR plasma and its diagnosis
复制标题
1OGHz微ECR等离子体的产生及其诊断
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Kawamura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Mikio Uruichi;Kyuya Yakushi;Tomoyuki Mochida;Y. Kawamura
