A.M.Wrobel: "High-Quality amorphous hydrogenated silicon carbide coatings by remote plasma chemical vapor deposition from a single source precursor" J.Materials Processing Technology. 53. 477-482 (1995)
A.M.Wrobel: "High-Quality amorphous hydrogenated silicon carbide coatings by remote plasma chemical vapor deposition from a single source precursor" J.Materials Processing Technology. 53. 477-482 (1995)
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A.M.Wrobel：“通过远程等离子体化学气相沉积从单一源前体获得高质量非晶氢化碳化硅涂层”J.Materials Process Technology。
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