Si高指数面酸化過程のリアルタイム光電子分光による評価
Si高指数面酸化過程のリアルタイム光電子分光による評価
复制标题
使用实时光电子能谱评估硅高指数表面氧化过程
DOI：
--
复制
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
大野真也
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
H. Nagai;S. Takano;H. Hara;C. Mochizuki,I. Takano;T. Onuma;T. Honda;and M. Sato;大野真也
