Measurement of absolute optical thickness distribution of a mask-glass by wavelength tuning interferometry
Measurement of absolute optical thickness distribution of a mask-glass by wavelength tuning interferometry
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通过波长调谐干涉测量掩模玻璃的绝对光学厚度分布
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hibino;K.;Kim;Y.;Bitou;Y.;Ohsawa;S.;Sugita;N.;Mitsuishi;M.
