塩素系ガスによるSiCのプラズマレス・エッチング
塩素系ガスによるSiCのプラズマレス・エッチング
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使用氯气对 SiC 进行无等离子体蚀刻
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
冬木 隆
中科院分区：
文献类型：
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作者：
畑山 智亮;堀 良太;田村 哲也;矢野 裕司;冬木 隆
