Advantages of Energy Selective Secondary Electron Detection in SEM

Advantages of Energy Selective Secondary Electron Detection in SEM
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SEM 中能量选择性二次电子检测的优点

DOI:
10.1017/s1431927610053754
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发表时间:
2010
影响因子:
2.8
通讯作者:
Rodenburg C
Rodenburg C
中科院分区:
工程技术4区
文献类型:
--
作者:
Rodenburg C

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L. Reimer
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