SiN-based Micro Cantilever Actuators Using NdFeB/Ta Permanent Magnetic Thin Film
SiN-based Micro Cantilever Actuators Using NdFeB/Ta Permanent Magnetic Thin Film
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使用 NdFeB/Ta 永磁薄膜的 SiN 基微悬臂驱动器
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Sen Yao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
清水淳;江田弘;周立波;Sen Yao
