I.Yamada: "Atomic Resolution Study of the Structure and Interface of Aluminum Films Deposited Epitaxially on Silicon by Ionized Cluster Beam Method" J.Vac.Sci.Technol.A8. 1443-1446 (1990)
I.Yamada: "Atomic Resolution Study of the Structure and Interface of Aluminum Films Deposited Epitaxially on Silicon by Ionized Cluster Beam Method" J.Vac.Sci.Technol.A8. 1443-1446 (1990)
复制标题
I.Yamada：“通过电离簇束法在硅上外延沉积铝膜的结构和界面的原子分辨率研究”J.Vac.Sci.Technol.A8。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
