高品質AlNテンプレートの歪制御と電子デバイス応用
高品質AlNテンプレートの歪制御と電子デバイス応用
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高质量 AlN 模板的应变控制和电子设备应用
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
酒井朗
中科院分区：
文献类型：
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作者：
林侑介;藤平哲也;Yongjin Cho;Huili Grace Xing;Debdeep Jena;三宅秀人;酒井朗
