シリコンおよび窒化シリコン膜表面への低エネルギーガリウムイオン照射効果
シリコンおよび窒化シリコン膜表面への低エネルギーガリウムイオン照射効果
复制标题
低能镓离子辐照对硅和氮化硅薄膜表面的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
柳沢 淳一
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
山田将司;松井 祐斗;山田逸成;柳沢 淳一
