沢田潔: "超精密マイクロ溝加工を利用したエンコーダ用回折格子の製作"日本機械学会論文集(C編). 66・648. 2846-2851 (2000)
沢田潔: "超精密マイクロ溝加工を利用したエンコーダ用回折格子の製作"日本機械学会論文集(C編). 66・648. 2846-2851 (2000)
复制标题
Kiyoshi Sawada：“使用超精密微槽加工的编码器的衍射光栅”，日本机械工程学会会刊（ed.C）2846-2851（2000）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
