ローカルウエットエッチングにより加工した表面の評価-加工後表面の表面粗さ悪化の原因解明-
ローカルウエットエッチングにより加工した表面の評価-加工後表面の表面粗さ悪化の原因解明-
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局部湿式蚀刻加工表面的评价 - 加工后表面粗糙度恶化的原因解析 -
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
永野幹典;他
