Fracture Strength of SiN Thin Film Microelements

Fracture Strength of SiN Thin Film Microelements
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SiN薄膜微元件的断裂强度

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Proc.3rd Symposium on Micromaterials 1
影响因子：
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通讯作者：
M.Sakihara
M.Sakihara
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
K.Minoshima;A.Sugeta;K.Yamasaki;M.Sakihara

文献摘要

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