エピタキシャル成長した強誘電体ナノプレート薄膜の物性に及ぼすスパッタガス圧の影響
エピタキシャル成長した強誘電体ナノプレート薄膜の物性に及ぼすスパッタガス圧の影響
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溅射气压对外延生长铁电纳米片薄膜物理性能的影响
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
清水勝
中科院分区：
文献类型：
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作者：
風呂谷亮佑;小舟正文;栗山知侑;菊池一樹;藤田智志;菊池丈幸;福室直樹;藤澤浩訓;中島誠二;清水勝
