S.Imai: "Atomic Layr Epitaxy of Silicon by Gas Confinement Method" Proc. IUMRS-ICAM-93. (in Press). (1994)
S.Imai: "Atomic Layr Epitaxy of Silicon by Gas Confinement Method" Proc. IUMRS-ICAM-93. (in Press). (1994)
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S.Imai：“气体限制法硅原子层外延”Proc。
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