M. Adachi, K. Okuyama, T. Fujimoto J. Sato and M. Murayama: "Morpholohy Control of Films Formed by Atmospheric-Pressure Chemical Vapor Deposition using Tetraethylorthosilicate/O_3one System" Jpn. J. Appl. Phys.35・8. 4438-4443 (1996)
M. Adachi, K. Okuyama, T. Fujimoto J. Sato and M. Murayama: "Morpholohy Control of Films Formed by Atmospheric-Pressure Chemical Vapor Deposition using Tetraethylorthosilicate/O_3one System" Jpn. J. Appl. Phys.35・8. 4438-4443 (1996)
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M. Adachi、K. Okuyama、T. Fujimoto J. Sato 和 M. Murayama：“使用原硅酸四乙酯/O_3one 系统通过大气压化学气相沉积形成的薄膜的形态控制”J. Appl. 35・8。 4438-4443 (1996)
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