Preparation of Yb-doped AlN Piezoelectric Thin Film
Preparation of Yb-doped AlN Piezoelectric Thin Film
复制标题
掺镱AlN压电薄膜的制备
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masato Uehara et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Miyatake Tomonori;Shibutani Sho;Hamada Kyohei;Gouchi Jun;Uwatoko Yoshiya;Wakiya Kazuhei;Umehara Izuru;Uehara Masatomo;Masato Uehara et al.
