張力を持つ薄膜MEMSねじり振動子を利用したセンサ
張力を持つ薄膜MEMSねじり振動子を利用したセンサ
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采用带张力的薄膜 MEMS 扭转振荡器的传感器
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
熊谷慎也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山崎辰也;佐々木実;熊谷慎也
