利用限制扩散湿法刻蚀法制作GaAs微透镜
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
刘光裕
中科院分区：
文献类型：
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作者：
王立军;宁永强;史晶晶;张岩;崔锦江;刘云;张星;王贞福;李特;秦莉;刘光裕
