金属援用エッチングによるポーラスシリコンの形成とレーザー誘起ブレークダウン分光への応用

金属援用エッチングによるポーラスシリコンの形成とレーザー誘起ブレークダウン分光への応用
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金属辅助蚀刻形成多孔硅及其在激光诱导击穿光谱中的应用

DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
八重真治
八重真治
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
松本 歩;島津佑輔;善積紗紀子;仲野春香;八重真治

文献摘要

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