Naフラックス法におけるGa-Na融液の電気抵抗測定を用いたGaN結晶成長速度のモニタリング
Naフラックス法におけるGa-Na融液の電気抵抗測定を用いたGaN結晶成長速度のモニタリング
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使用 Na 熔剂法中 Ga-Na 熔体的电阻测量来监测 GaN 晶体生长速率
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
森 勇介
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Ricksen Tandryo;糸澤孝一;村上 航介;久保 等; 今西 正幸;宇佐美 茂佳;丸山 美帆子;吉村 政志;森 勇介