エアロゾルデポジション法における噴射ノズルへの超音波印加効果
エアロゾルデポジション法における噴射ノズルへの超音波印加効果
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气溶胶沉积法中向喷嘴施加超声波的效果
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中誠
中科院分区：
文献类型：
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作者：
浦田空;藤井進;吉矢真人;田中誠
