走査型非線形誘電率顕微法に・E謔驪ﾉ性反転層状構造圧電薄膜の層厚の定量測定
走査型非線形誘電率顕微法に・E謔驪ﾉ性反転層状構造圧電薄膜の層厚の定量測定
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使用扫描非线性介电常数显微镜定量测量具有倒层结构的压电薄膜的层厚
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
長康雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
寺田浩士朗;西川宏明;田中陽平;小田川裕之;柳谷隆彦;長康雄
