High Quality Factor Microcavity for Van der Waals Semiconductor Polaritons Using a Transferrable Mirror
High Quality Factor Microcavity for Van der Waals Semiconductor Polaritons Using a Transferrable Mirror
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使用可转移镜的范德华半导体极化子的高品质因数微腔
DOI：
10.1002/adom.202201440
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发表时间：
2022
影响因子：
9
通讯作者：
Deng, Hui
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Paik, Eunice Y.;Zhang, Long;Hou, Shaocong;Zhao, Haonan;Chou, Yu‐Hsun;Forrest, Stephen R.;Deng, Hui
具有高质量因数的半导体微腔是光子学研究和技术的重要组成部分，特别是在强耦合条件下。虽然范德华半导体由于其强大的激子-光子相互作用强度和工程灵活性而成为光子学的一个有趣平台，但将它们集成到光子器件中需要异质集成并且仍然是一个挑战。本研究展示了一种为范德华材料组装高质量因子微腔的方法，使用高反射率的顶镜，类似于范德华材料本身，可以无损地、可靠地从基板上剥离并转移到器件的其余部分。微腔的质量系数始终在2000以上，最高可达11000±800；并证明了强耦合状态。该方法可以推广到其他类型的异质集成光子结构，并将促进使用范德华材料的腔量子电动力学和光子系统的研究。
Semiconductor microcavities with a high quality‐factor are an important component for photonics research and technology, especially in the strong coupling regime. While van der Waals semiconductors have emerged as an interesting platform for photonics due to their strong exciton–photon interaction strength and engineering flexibility, incorporating them in photonic devices requires heterogeneous integration and remains a challenge. This study demonstrates a method to assemble high quality factor microcavities for van der Waals materials, using high reflectance top mirrors which, similar to van der Waals materials themselves, can be nondestructively and reliably peeled off the substrate and transferred onto the rest of the device. Microcavities are created with quality factors consistently above 2000 and up to 11000 ± 800; and the strong coupling regime is demonstrated. The method can be generalized to other types of heterogeneously integrated photonic structures and will facilitate research on cavity quantum electrodynamic and photonic systems using van der Waals materials.
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DOI：
--
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
作者：
Y. Qu;Shaocong Hou;S. Forrest
通讯作者：
S. Forrest