The Effects of CH_4 Introduction on Lowering Friction of B_4C Sputtered Thin Films

The Effects of CH_4 Introduction on Lowering Friction of B_4C Sputtered Thin Films
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CH_4的引入对B_4C溅射薄膜的减摩效果

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
MORITA
MORITA
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Jiro;MORITA

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