音響共鳴を利用したフォトレジスト膜の音響物性値と膜厚の測定について
音響共鳴を利用したフォトレジスト膜の音響物性値と膜厚の測定について
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利用声共振测量光刻胶膜的声学特性和膜厚
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
燈明 泰成
中科院分区：
文献类型：
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作者：
キム ヘリン;燈明 泰成
