水素雰囲気異方性熱エッチングによる超微細ナノGaN構造の作製
水素雰囲気異方性熱エッチングによる超微細ナノGaN構造の作製
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氢气氛中各向异性热刻蚀超细纳米GaN结构的制备
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
菊池昭彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
喜多諒;蜂屋諒;菊池昭彦
