清水 聖治: "RIEによるSi深溝エッチングにおける低温化効果" 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'95講演論文集. (1995)
清水 聖治: "RIEによるSi深溝エッチングにおける低温化効果" 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'95講演論文集. (1995)
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Seiji Shimizu：“RIE 降低硅深槽蚀刻温度的效果”日本机械工程师学会机器人和机电一体化会议 95 会议记录（1995 年）。
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