AIC-SiGe 薄膜の微細構造に及ぼすAl層表面酸化の影響
AIC-SiGe 薄膜の微細構造に及ぼすAl層表面酸化の影響
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Al层表面氧化对AIC-SiGe薄膜微观结构的影响
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
犬塚純平
中科院分区：
文献类型：
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作者：
今川翔平;春名匠;安田恭野;本村俊一;河野英人;犬塚純平
