Siナノワイヤトランジスタの作製プロセスと電気特性の断面形状依存性
Siナノワイヤトランジスタの作製プロセスと電気特性の断面形状依存性
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硅纳米线晶体管的制造工艺和电性能的截面形状依赖性
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐藤創志、新井英朗、角嶋邦之、大毛利健治、山田啓作、岩井洋;他
