Discrete relaxation method for contact layer decomposition of DSA with triple patterning
Discrete relaxation method for contact layer decomposition of DSA with triple patterning
复制标题
三重图案 DSA 接触层分解的离散弛豫方法
DOI：
10.1016/j.vlsi.2017.11.004
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Wenxing Zhu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Xingquan Li;Jianli Chen;Wenxing Zhu
