Si Processing with Energetic Neutral Cluster Beam
Si Processing with Energetic Neutral Cluster Beam
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用高能中性簇束进行硅加工
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Matsuo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Seki;Y.Yoshino;T.Senoo;K.Koike;T.Aoki;T.Matsuo
