鎌田 喜一郎: "ECRプラズマCVD法による硬質炭素膜の合成" 化学工業,
鎌田 喜一郎: "ECRプラズマCVD法による硬質炭素膜の合成" 化学工業,
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Kiichiro Kamata：“通过ECR等离子体CVD法合成硬碳膜”化学工业，
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