Si基板上に成長したGd2O3の高品質化における成長初期表面状態の重要性

Si基板上に成長したGd2O3の高品質化における成長初期表面状態の重要性
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初始生长表面条件对于提高 Si 衬底上生长的 Gd2O3 质量的重要性

DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
後藤秀樹
後藤秀樹
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
稲葉智宏;徐学俊;俵毅彦;尾身博雄;山本秀樹;後藤秀樹

文献摘要

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