Micro-probing system for coordinate metrology using a particle controlled by optical radiation pressure based on standing wave scale sensing method
Micro-probing system for coordinate metrology using a particle controlled by optical radiation pressure based on standing wave scale sensing method
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基于驻波尺度传感方法的光辐射压控制粒子坐标计量微探测系统
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Terutake Hayashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yasuhiro Takaya;Masaki Michihata;Terutake Hayashi
