水素ラジカルを用いたシリコン窒化膜中水素量の制御
水素ラジカルを用いたシリコン窒化膜中水素量の制御
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利用氢自由基控制氮化硅膜中的氢含量
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
三谷 祐一郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小俣 晴人;中川 清和;三谷 祐一郎
