塩素ガスクラスターイオンビームによるスパッタ率のクラスターサイズ依存性
塩素ガスクラスターイオンビームによるスパッタ率のクラスターサイズ依存性
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氯气团簇离子束溅射速率对团簇尺寸的依赖性
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松尾二郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
瀬木利夫;青木学聡;松尾二郎
