Organized DFM for Total Optimization in Semiconductor Manufacturing
Organized DFM for Total Optimization in Semiconductor Manufacturing
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组织 DFM 以实现半导体制造的全面优化
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Kadota
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Sato;M. Honma;H. Itoh;N. Iriki;S. Kobayashi;S. Kuwabara;N. Miyazaki;H. Suzuki;N. Yoshioka;S. Arima;K. Kadota
使用 CD-SEM 自动边缘放置误差测量评估 OPC 质量
DOI：
10.1117/12.663017
发表时间：
2006
期刊：
SPIE Advanced Lithography
影响因子：
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作者：
C. Tabery;H. Morokuma;A. Sugiyama;L. Page
通讯作者：
L. Page