P.N.Minh,T.Ono and M.Esashi: "Microfabrication of Miniature Aperture at the Apex of SiO_2 Tip on Silicon Cantilever for Near-field Scanning Microscopy"Sensors and Actuators. A80. 163-169 (2000)

P.N.Minh,T.Ono and M.Esashi: "Microfabrication of Miniature Aperture at the Apex of SiO_2 Tip on Silicon Cantilever for Near-field Scanning Microscopy"Sensors and Actuators. A80. 163-169 (2000)
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P.N.Minh、T.Ono 和 M.Esashi:“用于近场扫描显微镜的硅悬臂上 SiO_2 尖端尖端微型孔径的微加工”传感器和执行器。

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