電子線リソグラフィにおけるパターン形成の分子シミュレーション
電子線リソグラフィにおけるパターン形成の分子シミュレーション
复制标题
电子束光刻中图案形成的分子模拟
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
平井義彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高井里奈;酒井裕史;安田雅昭;川田博昭;平井義彦
