Sputtering and codeposition of silicon carbide with deuterium
Sputtering and codeposition of silicon carbide with deuterium
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碳化硅与氘的溅射共沉积
DOI：
10.1016/s0022-3115(02)01358-2
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
R. Causey
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Causey
